台積電（2330）30日更新ESG電子報，公司致力精進綠色製造，成功升級「外氣空調箱洗滌技術」，新一代設計運用自然重力取代馬達加壓，在確保洗滌效果不變的同時，達到再節電60%的效益。此技術已於晶圓六廠與先進封測七廠完成運轉驗證，未來將推廣至各十二吋晶圓廠區，以多元節能行動深化低碳永續轉型。台積電在ESG電子報指出，公司亦評估導入「低壓損聚四氟乙烯（PTFE）濾網」。

台積電在ESG電子報指出，除提升外氣空調箱濕膜板洗滌技術外，公司亦評估導入「低壓損聚四氟乙烯（PTFE）濾網」，相較於既有玻璃纖維濾網可減少50%運作壓損，並具備高容塵量以延長濾網汰換周期；期盼透過水流洗滌與空氣過濾的雙重優化，全方位減省外氣空調箱運轉能耗，以多元的環保行動實踐綠色製造的永續承諾。

以實踐聯合國永續發展目標（SDGs）第7項─「可負擔的潔淨能源」為願景，台積電今更新ESG電子報提到，台積公司積極提升能源使用效率，並將「民國115年至119年新增節能措施累積節能率7.5%」列為長期目標，於年度永續報告書中揭露執行進展。為擴大節能成效，台積公司啟動TSMC ESG AWARD獲獎提案之一「解鎖外氣空調箱省電全技能」，攜手供應商在「外氣洗滌技術1.0」已節電80%的基礎上，成功研發「外氣洗滌技術2.0」，透過改裝外氣空調箱（MAU）灑水系統並導入高潤水性濕膜板，運用水流自然落下的重力，取代原本的馬達動力加壓；在維持相同洗滌效果的同時，水泵由10馬力降至4馬力，實現再省電60%的本質節能效益。截至民國115年10月，洗滌技術2.0已於晶圓六廠與先進封測七廠完成運轉驗證，未來將推廣至各十二吋晶圓廠區，持續精進綠色製造能力。

無塵室的外氣空調箱主要透過濕膜板洗滌微汙染物，台積公司先前推行的洗滌技術1.0，以「濕膜吸收」取代高壓霧化噴嘴，藉由擴大氣水接觸面積，已成功省電80%。為進一步強化能效表現，台積公司與供應商合作投入洗滌技術2.0，將研發重點由材料優化擴展至運作機制重構。

新設計採用重力式灑水分布器替換壓力式灑水噴嘴架，利用重力位能產生的液靜壓，使洗滌水自然流下並均勻浸潤濕膜板，將壓力洗滌升級為重力洗滌；循環水泵也因此由加壓噴淋轉變為傳送輸水，有效降低運轉壓力與電力。同時，研發團隊依據化學氣態汙染物性質，透過計算與實驗確認洗滌水量及濕膜板所需厚度以達最佳配置，並藉由其高潤水性，確保微汙染物的過濾去除效果。